鈦化工軸流泵的除氣機理介紹

（1） 對活性氣體的抽除

對N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽極筒內壁上的鈦膜的化學吸附。

（2） 對氫氣的抽除

對氫氣的抽除有化學吸附，也有擴散、吸收、溶解作用。

（3） 對惰性氣體的抽除

對惰性氣體的排除，主要靠離子“掩埋”，被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時，有以下三種情況：

a、離子直接打入陰極內，或打入陰極邊緣對面的陽極板上的鈦淀積層內；

b、斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方；

c、離子沒有打入板內，但是從陰極得到電子而復合為中性原子，然后又反射到陽極內表面的鈦膜中。